◎ 利用白光点光源,光线穿过透镜后产生色差,不同波长的光分开后入射到被测样品上。
◎ 根据准共聚焦原理,探测器系统只能接收到被测物体上单点反射回来的
特定波长的光,从而得到这个点距离透镜的垂直距离。
◎ 这个点为点光源与传感器所在的直线的中垂线与样品的交点。
◎ 再通过点扫描的方式可得到一条线上的坐标,即 X-Z 坐标
◎ 最后以 S 路径获得物体个点的三维 X-Y-Z 坐标
◎ 最后将采集的三维坐标数据交给专业的三维处理软件进行各种表面参数的分析
◎ 软件能够自动获取用户关心的表面形貌参数。
第四:三维专业软件分析
1、 可创建任意区域的 2D 曲线图或 2D 等高线分布图;
2、 可创建任意区域的 3D 图;
3、 自动得到样品的一维线粗糙度参数(Ra,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Rq,Rsk,Rku);
4、 自动得到样品的二维面粗糙度(Sa,Sp,Sq,Sv,Sz,Ssk,Sku);
5、 可得到样品的平整度,波纹度等参数;
6、 自动校准功能,例如粗糙度,一般情况下对于曲面样品,首先展平,然后自动给出粗糙度的参数;
7、 具有尺寸测:长度,宽度,角度,深度
8、 可测孔洞磨损面积,磨损体积等参数;
9、 利用计算机远程控制;
10、 具有功率谱密度测试功能;
11、 具有分形统计功能;
12、 多种格式的图与数据输出。
第五:应用
随着微纳米技术与精密加工技术的发展,对物体的表面参数的测越来越重要,传统的光学显微镜技术与扫描电镜技术已不能满足工业开发对样品进行大 范围、高精度、高速度、定量测量的需要,三维非接触式表面形貌仪由于其独特的性能,可以解决这些传统技术对三维表面形貌测量限制,越来越多的公司与高校的科研就够开始使用三维非接触式表面形貌仪来进行产品的质量控制与研发, 三维表面形貌仪已成为研究材料表面特性不可缺少的工具之一。 该设备也被广泛的应用于汽车,摩擦,航天,半导体,腐蚀,岩石,医科材料,造纸,精密 加工,光学,制药等行业。
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