适用于蒸发镀膜磁控溅射与手套箱环境有机融合，实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接，广泛用于钙钛矿太阳能电池 /OPV 有机太阳能电池及 OLED 薄膜等研究系统等，真空腔尺寸：L500mmxW500mmxH650mm，技术方案联系微信：19829651059
产品特点 / 用途 :
1. 大面积，复合型，批量制备，洁净真空不同功能复合涂层制备，可获得更高电池转换效率。
2. 广泛用于钙钛矿太阳能电池及复合功能薄膜材料制备等应用。
3. 技术先进、设计优化，性价比高，性能稳定，使用维护成本低。
技术参数
设备型号 | ZHDS500 |
镀膜方式 | 金属 + 有机蒸发 |
真空腔室结构 | SUS304 方箱式，配有前、后门 |
真空腔室尺寸 | L500mmxW500mmxH650mm |
加热温度 | 室温-300℃（选配） |
基片台尺寸 | 抽屉式:220mmx220mm可旋转、升降、水冷 |
膜厚不均匀性 | ≤±5.0%（210mmx210mm范围内） |
蒸发源 | 金属 2 组 + 有机 4 组或更多，有机配温控式加热电源，金属电源 （国产或进口） |
晶振膜厚监控仪 | 国产或进口 多探头可选 |
控制方式 | PLC/PC 控制 ( 可选 ) |
占地面积 | L2500mmxW1600mmxH1900mm( 不含手套箱 ) |
总功率 | ≥ 10kW 三相五线制 |
